氣相沉積爐是時代發(fā)展進步的產物，它是通過化學反應的方式，利用加熱、等離子激勵或光輻射等各種能源，在反應器內使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學物質在氣相或氣固界面上經化學反應形成固態(tài)沉積物的技術。簡單來說就是：兩種或兩種以上的氣態(tài)原材料導入到一個反應室內，然后他們相互之間發(fā)生化學反應，形成一種新的材料，沉積到基片表面上。CVD和PVD相比，沉積過程要發(fā)生化學反應，是一個氣象化學生長的過程。
目前，本設備是由沉積室、供氣系統(tǒng)和排氣系統(tǒng)組成，是以電阻加熱或者感應加熱的方式，在真空環(huán)境下，通入沉積氣體，并在高溫下產生裂解后沉積到工件上，使復合材料得到致密化處理的生產設備。
技術特點：
2.氣相沉積爐可以通過各種反應形成多種金屬、合金、陶瓷和化合物涂層。
3.在中溫或高溫下，通過氣態(tài)的初始化合物之間的氣相化學反應而形成固體物質沉積在基體上。
4.采用等離子和激光輔助技術可以顯著地促進化學反應，使沉積可在較低的溫度下進行。
5.涂層的化學成分可以隨氣相組成的改變而變化，從而獲得梯度沉積物或者得到混合鍍層。
6.沉積層通常具有柱狀晶體結構，不耐彎曲，但可通過各種技術對化學反應進行氣相擾動，以改善其結構。
7.繞鍍件好。可在復雜形狀的基體上以及顆粒材料上鍍膜。適合涂覆各種復雜形狀的工件。由于它的繞鍍性能好，所以可涂覆帶有槽、溝、孔，甚至是盲孔的工件。
氣相沉積爐的安裝說明：
1.安裝時：沒什么特殊要求，在室內地面或臺架上，電爐控制器應放在工作臺上，臺面傾斜度不得超過5度，控制器離實驗室電爐小距離不得少于0.5米，為了保證控制器的正常運轉，控制器不宜放在電爐上面。
2.接線時，首先轉松控制器外殼左右兩側的螺釘，然后將罩殼上翻，接好電源線后，控制器與電爐的連線及熱電偶連接線，將熱電偶從熱電偶固定座的小孔中插入爐膛，孔與熱電之間間隙用石棉繩堵塞，然后固定。
3.檢查完接線后,即可通電，然后打開回轉爐控制器面板上的開關，調節(jié)設定按鈕，把溫度設定到您所需要的度數上，如果把設定開關拔向測量位置上，紅燈滅，亦有接觸器的吸合聲響，電爐通電，電流表指示加熱電流值，溫度隨爐內溫度升高而徐徐上升，說明工作正常。
更新更新時間：2022-07-20
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